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                        	 全自動On-Line式等離子處理系統
	                        
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      真空等離子處理系統
      
                        
                        
                        
      
                        
                    
      
                                        
                
      
            
      
                        
      
                
      
                    
                    
      
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      全自動On-Line式等離子處理系統
      
                        
                        
                        
      
                        
                    
      
                                        
                
      
            
      
                        
        
      
        
        
      
            
      
                
            
      
            
      
                
            
      
        
      
        
    
      

      





             
        
             
        
         
               
         
               
         
               
      

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                自動On-Line式AP等離子處理系統 CRF-APO-500W-C
              
            
            
      
            
          
      
        
      
      
      
            
      
        
      
          
          
            
      
              	 自動X/Y軸式AP等離子處理系統CRF-APO-N&AP-XY
	            
      
                
          
          
      
            
            
      
              
                自動X/Y軸式AP等離子處理系統CRF-APO-N&AP-XY
              
            
            
      
            
          
      
        
      
      
      
          
      
    
    
      
          
				

    
      
  
      

      



             
        
             
        
             
        
             
        
         
               
             
        
         
               
         
               
       







      
  

      
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      消費類電子行業
      
   
      
 
      大部分產品的表面均存在有機或無機的污染物，由此在后工序加工時會影響產品的品質，特別是對于需要粘接、印刷、貼合等工序時。此時需要等離子進行表面清潔處理。

      
    

       

        
  
  

      
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      新能源行業
      
    
      
 
       如：1、玻璃基板去除表面污染物，使工件表面親水性大大提高；2、ITO陽極表面改性，改善器件的光伏性能；3、通過采用等離子體技術，可活化硅片表面，大大提高其表面附著力。
      
    

       

          
  
 
      
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      汽車制造業
      
    
      
 
      隨著經濟的發展，消費者對汽車的性能要求越來越高，如汽車的外觀、操作舒適性可靠性、使用耐久性等要求也不斷提高。為了滿足消費者的要求，各汽車廠家在生產汽車時更注重細節方面的優化改進
      
    

       

        
  
  
  
  
  
      
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      半導體芯片行業
      
    
      
 
       對芯片與封裝基板的表面進行等離子體處理能有效增加其表面活性，極大的改善粘接環氧樹脂在其表面的流動性，提高芯片和封裝基板的粘結浸潤性，減少芯片與基板的分層，改善熱傳導能力，提高IC封裝的可靠性穩定性，增加產品的壽命。
      
    

       

        
  
  
  
  

      
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      醫療行業
      
    
      
 
      如：介入治療用的心臟冠狀動脈支架，經等離子體清洗之后還要用等離子體涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。
      
    

       

        
  
  

      
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      重工業領域
      
    
      
 
      如：1、鋰電池隔膜行業通過等離子處理改善了材料表面特性，大大提高了電池性能；2、航空航天連接器通過等離子處理改善了材料表面特性，大大提高了電池性能；增強其表面活性，使得粘接效果明顯改善。
      
    

       

          
  

  
  
  
  

    
  
  
  
  
  
  
  
  
  

      



 






 

             
        
               
         
               
       

      
        
      
        
      
            
      
                                                
      
                    
      
                        
                        
                            
      
                            	 等離子設備-應用于移印、絲網印刷、膠版印刷等各種常用印刷工藝
	                            
      
                              
                    
      
                    
      
                        
                        
      
                            等離子設備-應用于移印、絲網印刷、膠版印刷等各種常用印刷工藝
                        
      
                        
                        
      ? ? ? ? 等離子設備其應用原理是等離子體前處理能夠使低附著力的絲網印刷油墨穩定長時間地附著在難以附著的表層，如聚丙烯、聚乙烯、聚酰胺一、聚碳酸酯、玻璃或金屬材料等表層。
（1）由于等離子設備技術的高(效)性，也提高了產品的包裝印刷速度。例如，在一些包裝產品上進行包裝印刷時，包裝印刷速度可能會提高30%。等離子設備前處理作為印刷前的前處理工藝，提高了溶液墨水的持久附著力，提高了包裝印刷圖像的產品質量，增強了包裝印刷產品的耐久性和耐老化性，使顏色更鮮艷，圖案包裝印刷更(精)確。與電暈處理相比，如果在熱敏原料表面處理均勻的等離子，就不可能對表面造成其他傷害。
（2）等離子設備為涂裝過程表層前處理是保證后期噴涂質量的前提條件，等離子設備可保證此功能。對于許多企業的涂料工藝流程來說，節能環保的水性涂料工藝是其加工的關鍵階段。常壓型等離子設備前處理工藝的應用為水性涂料的制造提供了可能。等離子設備前處理能夠去除表層上的油污和灰塵，并為原料提供更高的表面能量。等離子設備前處理技術的清洗(效)果去除了表層的油污，等離子設備的靜電作用去除了附著在表層上的灰塵粒子，化學變化(效)果提高了表層的能量，這些水平的綜合（效）果使等離子設備前處理技術成為高(效)的專用工具，通常說采用等離子清洗設備，實現可靠、持久的粘接。
（3）等離子設備表面處理的高（活）化性是塑料材料長期牢固的粘結質量所致。除了塑料之間的粘接，等離子設備技術已經成功地應用于零件組裝過程中的結構粘接。例如，在汽車工業中，熱管散熱器和卡車車身的粘接面經過等離子設備前處理。等離子設備前處理后，不需要額外的清洗或其他前處理工藝，等離子設備技術能夠保證高粘接強度。
（4）結合兩種不同原料的新技術，等離子技術應用于雙組分注塑工藝，新的復合材料應用于等離子設備技術的制造，能夠在雙組分注塑成型過程中將2種不謙容的原料穩固黏合在一塊。這主要涉及硬膠和軟膠的黏合，如硅膠和聚丙烯的復合材料。雙組分注塑工藝制造復合材料的生產成本很經濟，還可以制造對原料有嚴格特殊要求的新產品。
? ? ? ? 筆者從四點講述了等離子設備應用于移印、絲網印刷、膠版印刷等各種常用印刷工藝的案例，希望幫到更多有需求的朋友認識等離子設備。

      
                        
                        
      
                            
                                
                                2021-07-20
                            
                            
                                
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                            	 重工業
	                            
      
                              
                    
      
                    
      
                        
                        
      
                            重工業
                        
      
                        
                        
      應用于電池隔膜處理，提高吸堿率及親水性。電池隔膜均為高分子材料，極性弱。分子難以透過，使用等離子處理后，改善了材料表面特性，大大提高了電池性能。?
      
                        
                        
      
                            
                                
                                2020-06-10
                            
                            
                                
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                            	 醫療行業
	                            
      
                              
                    
      
                    
      
                        
                        
      
                            醫療行業
                        
      
                        
                        
      導尿管給需要留置導尿的患者帶來了福音，在臨床上的應用越來越廣，但隨著其應用的增多，導尿管拔除困難的情況也越來越常見。特別是長期留置的導尿管，有時由于橡膠的老化會造成氣囊管腔的阻塞，強行拔除時可能會引起嚴重的并發癥。為了防止硅橡膠與人體接觸表面的老化，需要對其表面進行氧等離子處理。用掃描電子顯微鏡(SEM)、紅外光譜(FTIR-ATR)和表面接觸角研究天然膠乳導尿管經氧等離子體處理前后的表面結構、性能和化學成分的變化，結果表明用低溫等離子設備公司氧等離子體處理后的導尿管表面變滑，表面接觸角由84度減少至67度，表面無有害基團產生，說明氧等離子體處理是一種有效的等離子表面處理方法。

另外，可用大型等離子清洗機或者小型的處理硅橡膠以增加其表面活性，然后在表面涂度一層不易老化的疏水材料，其效果也非常好。?

　

2．靜脈輸液器 

輸液器末端輸液針在使用過程中，拔出時針座與針管之間會出現脫離現象，一旦脫離，血液會隨針管流出，如不及時正確處理，對病人會造成嚴重威脅。為了確保這類事故的發生，對針座進行表面處理是非常必要的。針座孔非常小，普通方法難處理，而等離子體是一種離子狀態的氣體，對微小的孔也可以有效處理。應用大型等離子清洗機等離子對其進行表面活化處理，可改善表面活性，提高其與針管的粘接強度，確保它們之間不會脫離。下圖為針座在等離子清洗機中進行等離子表面清洗活化處理。



3．生物培養板

誠峰智造低溫等離子設備公司清洗設備可用于改善培養板表面親水性，接枝特定化學基團，并進行表面殺菌。

　


      
                        
                        
      
                            
                                
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                            	 半導體芯片行業
	                            
      
                              
                    
      
                    
      
                        
                        
      
                            半導體芯片行業
                        
      
                        
                        
      芯片或者硅片與封裝基板的粘接，往往是兩種不同性質的材料，材料表面通常呈現為疏水性和隋性特征，其表面粘接性能較差，粘接過程中界面容易產 生空隙，給密封封裝后的芯片或硅片帶來很大的隱患，硅片清洗機工業等離子清洗機可以對芯片與封裝基板的表面進行等離子體處理能有效增加其表面活性，等離子處理機極大的改善粘接環氧樹脂在其表面的流動性，提高芯片和封裝基板的粘結浸潤性，減少芯片與基板的分層，改善熱傳導能力，提高IC封裝的可靠性穩定性，增加產品的壽命。



引線框架的表面處理

微電子封裝領域采用引線框架的塑封形式，仍占到80%，其主要采用導熱性、導電性、加工性能良好的銅合金材料作為引線框架銅的氧化物與其它一些有機污染物會造成密封模塑與銅引線框架的分層，造成封裝后密封性能變差與慢性滲氣現象，同時也會影響芯片的粘接和引線鍵合質量 ，確保引線框架的潔凈是保證封裝可靠性與良率的關鍵，經等工業離子處理機清洗后引線框架表面凈化和活化的效果成品良率比傳統的濕法清洗會極大的提高，并且免除了廢水排放，降低化學藥水采購成本。



優化引線鍵合（打線）

集成電路引線鍵臺的質量對微電子器件的可靠陛有決定性影響，鍵合區必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氯化物、有機殘渣等都會嚴重削弱引線鍵臺的拉力值。傳統的工業清洗機濕法清洗對鍵合區的污染物去除不徹底或者不能去除，而采用等離子體廠家設備清洗能有效去除鍵合區的表面沾污并使其表面活化，能明顯提高引線的鍵合拉力，極大的提高封裝器件的可靠性。




      
                        
                        
      
                            
                                
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                            	 汽車制造業
	                            
      
                              
                    
      
                    
      
                        
                        
      
                            汽車制造業
                        
      
                        
                        
      隨著經濟的發展，消費者對汽車的性能要求越來越高，如汽車的外觀、操作舒適性可靠性、使用耐久性等要求也不斷提高。為了滿足消費者的要求，各汽車廠家在生產汽車時更注重細節方面的優化改進，如進行

(1)儀表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前處理

(2)控制面板在粘臺前處理

(3)內部PP零件植縟前處理

(4)汽車門窗密封件的處理

以前未經任何處理儀表盤或控制面板涂覆效果非常差，不耐磨，容易掉漆等現象，用化學方法處理雖然能改變涂覆的效果，但同時也改變了儀表盤等基材的性能，使得其強度有所降低。目前很多廠家已經使用等離子汽車清洗機plasma等離子技術來處理這些基材，通過plasma等離子體轟擊，材料表面微觀層面活性增強，能明顯改善涂覆效果。根據實驗得知，用等離子清洗機處理不同材料需要選用不同工藝參數，才能達到更好的活化效果。

　

2、發動機油封片 

發動機曲軸油封起防止發動機機油從發動機中滲漏和防止異物進入發動機內部的作用。曲軸油封是發動機的零件之一，在高溫下與機油相接觸，因此需要采用耐熱性和耐油性優良的材料。目前轎車普遍使用聚四氟乙烯材料，隨著汽車性能要求的不斷提高，越來越多的廠家使用該材料，等離子汽車清洗機其應用前景非常廣泛。聚四氟乙烯材料各方面性能優異，耐高溫，耐腐蝕、不粘、自潤滑、優良的介電性能、很低的摩擦系數，但未經處理的PTFE材料表面活性差，其一端與金屬之間的粘接非常困難，產品無法滿足金屬表面處理質量要求。為了解決這一技術上的難題，就要設法改變PTFE（聚四氟乙烯）與金屬表面粘接的表面性能，而不能影響另一面的性能。工業中用溶液處理雖然能在一定程度上提高粘接效果，但是卻改變了原有PTFE的性能。經實驗證明，用plasma清洗機等離子體轟擊需粘接的PTFE表面后，其表面活性明顯增強，與金屬之間的粘接牢固可靠，滿足了工藝的要求，而另一面保持原有的性能，其應用也越來越被廣泛認同。

　

3、點火線圈 

隨著汽車行業的發展，其各方面性能要求越來越高。點火線圈有提升動力，很明顯的效果是提升行駛時的中低速扭距，消除積碳，更好的保護發動機，延長發動機的壽命，減少或消除發動機的共振，燃油充分燃燒，減少排放等諸多功能。要使點火線圈充分發揮它的作用，其質量、可靠度、使用壽命等要求必須達到標準，但是目前的點火線圈生產工藝尚存在很大的問題點火線圈骨架外澆注環氧樹脂后，由于骨架在出模具前表面含大量的揮發性油污，導致骨架與環氧樹脂結合面粘臺不牢靠，成品使用中，點火瞬間溫度升高，會在結合面的縫隙中產生氣泡，損壞點火線圈，嚴重的還會發生爆炸現象。

點火線圈骨架使用plasma清洗機等離子處理后，不僅可去除表面的難揮發性油污，而且可大大提高骨架表面活性，即能提高骨架與環氧樹脂的粘合強度，避免產生氣泡，同時可提高繞線后漆包線與骨架觸點的焊接強度。這樣一來點火線圈在生產過程中各方面性能得到明顯改善，提高了可靠度和使用壽命。


      
                        
                        
      
                            
                                
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      使用等離子體技術，對材料表面進行轟擊，可有效去除表面污染物，使工件表面親水性大大提高。清洗后的水滴夾角小于5度，為下道工序的進行奠定良好基礎。
      
                        
                        
      
                            
                                
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      深圳市誠峰智造有限公司是家集研發制造銷售等離子清洗機為一體的高新技術企業。公司設立等離子清洗機事業部(主營等離子清洗機、CRF plasma等離子設備、等離子表面處理機)；五金沖壓部；鈑金部；精密五金模具部；涂裝部。產品廣泛應用于通信；汽車；家電；紡織；航天航空；生物工程；精密制造等行業。公司秉承誠信；拼搏；創新的精神理念，立足中國，面向全球。
      

      

             
        
               
             
        
             
        
             
        
         
               
         
               
         
               
         
               
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                           plasma清洗釋放的粒子和加上氧氣有什么不同
                        
      
                        

      
                        
                        
      plasma清洗釋放的粒子和加上氧氣有什么不同：
? ? ? ?在零件進行生產加工前，需要清除零件表面的污染物。很多具有復雜幾何形狀的材料表面，都可以使用等離子體清洗。等離子體清洗系統可以有效地清洗表面，而不會對表面的其他特性產生不良影響。在過去的幾十年里，等離子體清洗的效率得到了認可，因而廣泛用于各類材料的前處理清洗。下文詳細介紹等離子體清洗的概念及其用途。
一、什么是plasma清洗？
? ? ? ?等離子體被認為是第四種物質狀態。作為一種獨特的工藝介質，它可以用于表面處理和表面改性。等離子體是由離子、電子和中性原子組成的電離氣體。存在于等離子體中的電子的溫度要高于中性氣體，但是等離子體始終處于接近環境溫度的狀態，其電子密度約為1010cm-3。等離子清洗能夠通過化學反應（空氣等離子體）或物理燒蝕（氬氣等離子體/氬氣等離子體）的過程，有效去除表面的所有有機污染物。等離子清洗系統還與表面的化學官能團（如羧基、羰基和羥基）共同作用，使大多數表面具有親水性。表面不僅要清潔，還要具有親水性，這就需要增加表面的潤濕性，同時減少與水的接觸角，從而增強生產過程中與其他表面的粘合或附著力。除此之外，plasma清洗還可以用來去除表面的微生物污染物，很適合生物材料研究應用中的滅菌操作。
二、什么是氧plasma清洗？
? ? ? ?氧plasma清洗是指在等離子腔體內使用氧氣進行等離子體清洗的工藝。氧氣可以用于粘接前的清洗過程，還可以用氧氣與其他氣體配合來蝕刻表面?？梢哉f，氧氣是等離子體清洗中最常用的氣體，因為它的用途廣，成本低。利用plasma清洗系統中的氧源可以產生氧等離子體。凡是用于等離子體蝕刻的系統都可以使用氧氣，因為氧氣常用于清洗玻璃、特氟龍、塑料等非金屬表面，可以增加非金屬表面的潤濕性。

      
                        
                        
                        
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                           CRF等離子火焰處理機清洗對清漆涂層和碳鋼界面的應用
                        
      
                        

      
                        
                        
      CRF等離子火焰處理機清洗對清漆涂層和碳鋼界面的應用：
? ? ? ?在自然環境中，由于環境的影響，材料會發生化學或電化學作用，導致腐蝕失效，失去原有的機械性能和結構作用，造成潛在的安全風險和經濟損失。
? ? ? ?海洋腐蝕是大氣環境、土壤環境和海洋環境中最突出的腐蝕。涂料保護在海洋腐蝕保護中占有很高的比重，這使得涂料在海水環境中的研究成為熱點。通過對涂層本身和涂層附著基體的改性，可以提高涂層的使用壽命和保護質量。
? ? ? ?相比傳統的改性技術，等離子火焰處理機清洗有環保無污染、不破壞機體表面整體性質、適應性強、安全等特點。在基體表面改性方面，對基體采用等離子體處理。經過等離子體處理，基體表面增加起到連接性的官能團，例如羥基(-OH)、羰基(-CO)等官能團。這些官能團可以與醇酸樹脂中的不飽和雙鍵(-C=C-)、羧基(R-OOH)、羥基R-OH、脂基(R-OOR)等官能團發生反應形成化學鍵，提高涂層與基體之間的結合力。
? ? ? ?另外，等離子火焰處理機處理也可以增加表面的粗糙度，從物理方面增加結合力。電化學交流阻抗(EIS)和掃描開爾文探針測試(SKP)結果都證明了等離子體處理可以增強涂層防護性能和延緩涂層的失效。
? ? ? ?為提高涂層本身的防滲性和耐腐蝕性，在清漆中加入納米級多壁碳納米管作為顏料填料。碳納米管的增加增加了成膜涂層的致密性和填充水分子滲透的通道，顯著延長了水從涂層表面滲透到基體表面的時間，延緩了涂層故障，提高了涂層的使用壽命。
? ? ? ?從分子力學的角度上進行分析。通過對鐵基體表面等離子體進行模擬處理，比較醇酸樹脂在鐵基體表面吸附能的變化，并經過等離子體處理。結果證明，鐵基體表面的等離子火焰處理機清洗可以對醇酸樹脂在基體表面的吸附起到促進作用。
? ? ? ? 通過CRF等離子火焰處理機和碳納米管填料的處理，可以提高涂層的保護效果，延長涂層的使用壽命，從而影響清漆涂層的失效。

      
                        
                        
                        
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                           經CRF-等離子火焰處理機清洗MH-Ni電池
                        
      
                        

      
                        
                        
      經CRF-等離子火焰處理機清洗MH-Ni電池:
? ? ? ? CRF等離子火焰處理機對堿性二次電池一MH-Ni電池用隔膜做好改性處理，plasma處理條件對丙綸隔膜的性能影響。隔膜吸堿量高，能夠降低電極反應的電化學極化和濃差極化，全面降低電池充放電過程的內阻使放電反應更加全面、完全,提高活性物質利用率。
? ? ? ? 隨著空氣流量的加大，活化的等離子態增多、更多的丙烯酸更快地接枝聚合。從而使丙綸隔膜的吸堿速率與吸堿率都逐漸增加。然而到達一定的流量之后，在放電功率保持不變的情況下，氣體流量的增多導致氣體密度過大，使單個的帶電粒子能量較小，同時使能量較多地損失在粒子間的相互碰撞上，影響了丙烯酸聚合沉積的效果。
? ? ? ?經等離子火焰處理機清洗后，隔膜吸堿速率相應降低許多，而吸堿率則沒有太大的降低。這可能是處理后的電池隔膜上堆積的部分，聚丙烯酸膜并未牢固地結合在丙綸上。清洗后,這部分聚丙烯酸膜脫落下來，致使吸堿速度在很大程度上降低。而吸堿率的實驗是在對處理后的隔膜進行充分浸潤后進行的，即使隔膜的吸堿速度降低，但總的吸堿率并無太大變化。
? ? ? ?丙綸電池隔膜未處理與等離子火焰處理機處理后的對比，可以發現，經過等離子火焰處理機處理后在丙綸纖維表面引入了親水性羧基基團。未處理的電池隔膜比較光滑，而處理之后的隔膜纖維上分布著片狀的聚丙烯酸膜，表面也因此變得粗糙。
? ? ? ? 另外，聚丙烯的特征峰仍然很好地保留，說明盡管隔膜經過等離子火焰處理機處理，但并未影響它本身的特性。

      
                        
                        
                        
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      2023
      
                        
      02-06
      
                      
                    
      
                    
                    
                    
      
                        
                        
      
                           市面上的plasma清洗機與電暈機處理效果上有和不同?
                        
      
                        

      
                        
                        
      市面上的plasma清洗機與電暈機處理效果上有和不同?
? ? ? ? plasma清洗機和電暈處理方法不同。電暈只能處理很薄的東西，比如塑料薄膜，要求處理對象體積不能大，用于廣域處理。
? ? ? ? 電暈與噴槍plasma清洗機相同，電量處理機幾乎也都是在接近常壓環境中運行的，不同的是電量處理是將空氣直接電離，除此之外，電量與plasma清洗機處理還有以下幾個明顯不同，誠峰plasma清洗機為大家詳細介紹。
? ? ? ? 適合處理的薄膜厚度有所不同當電量處理機在處理高分子材料通膜時，大家應該不難發現:電量處理很容易使膜變薄，甚至貫通開孔，這是因為電量處理將薄膜表面的數微米量級厚度的表層分解掉，正因如此，在適合處理的薄膜厚度上，兩者有所不同，一般來說電暈處理機適合處理的膜厚在25um以上，而等離子清洗機對膜厚沒有特別要求，但對厚度小于20um的高分子薄膜，使用等離子清洗機處理更加合適。
? ? ? ?對薄膜材料種類的要求不同
正如上述所說，電暈處理機對處理的薄膜厚度有所要求，此外，電暈處理對膜的材料也有要求。怎么理解呢?大家可能發現了，當處理的道膜是常規的塑料膜，電量處理機的處理效果還是比較不錯的，但如果膜的材料是PTFE聚四氟乙烯、PET聚蛋、PI聚酷亞胺等，電是處理的效果往往并不理想，而這些材料的膜使用大氣或真空型的plasma清洗機處理，可以達到比較理想的處理效果。
? ? ? ?從電暈處理和等離子處理后的粘合強度來看，等離子清洗機處理能夠取得更為理想的粘合強度，如果你對處理的粘合強度有所要求或者是塑料蒲膜金屬化前的處理，兩者處理方式中建議選用等離子清洗機處理。此外，就處理后粘接強度保持的時效來電量處理一般能夠保持在一周內左右，等離子清洗機處理后效果能夠實現保持幾個月之久。
除上述介紹的內容之外，plasma清洗機處理方式得以廣泛應用的原因還有很多，如處理成本比部分同類方法更低、可實現不
同的材料處理目的、工便于實現連續性自動化生產等。

      
                        
                        
                        
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      2023
      
                        
      02-03
      
                      
                    
      
                    
                    
                    
      
                        
                        
      
                           CRF-常壓電漿清洗機射流改性船體鋼表面親水性研究
                        
      
                        

      
                        
                        
      CRF-常壓電漿清洗機射流改性船體鋼表面親水性研究：
? ? ? ?表面涂覆有機涂層是當前使用最常用的金屬材料腐蝕與防護途徑之一。涂層的防護機制是通過在金屬和腐蝕環境之間組建一個防護層來減弱金屬腐蝕。但是，在涂層的使用過程中往往發生涂層從金屬材料基體上剝落的情況，減弱了涂層對金屬的防護特性。
金屬表面涂層的結合牢固性通常受到涂層或樹脂在基體表面鋪展潤濕性的影響。要是樣品表面的粘合劑具有良好的潤濕性，則可以靠近不均勻的樣品，否則粘合劑與金屬界面之間會有很大的間隙。
? ? ? ?CRF-常壓水泥清洗機表面改性技術是一種氣固相關反應系統，不引入其他物質，不污染環境，能有效改善金屬材料。.聚合物表面的親水性、疏水性和生物相容性大大提高了金屬材料-金屬材料、金屬材料-聚合物的結合牢固性等優點。
采用CRF-常壓電漿清洗機射流對普通船體鋼進行表面改性處理，以期能夠改善鋼基體表面的親水性能，提高涂層與基體之間的結合強度，從而增加涂層的防護特性。
? ? ? ?將去離子水測試液滴分別滴到未處理(僅噴砂處理)和經空氣等離子體射流處理的船體鋼試樣上。結果分析表明，經CRF-常壓電漿清洗機射流處理后，樣品表面接觸角明顯降低，親水性顯著增加。
? ? ? ?固體表面的潤濕性取決于它的化學組成(或表面自由能)和微細結構(或表面粗糙度)。經大氣壓等離子體射流處理后，不銹鋼表面自由能的增加是因為等離子體中的N原子及活性物質的表面清洗作用和等離子體中的氧原子及活性物質的表面氧化作用。

      
                        
                        
                        
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      2023
      
                        
      01-31
      
                      
                    
      
                    
                    
                    
      
                        
                        
      
                           SiC表面的氫plasma清洗機處理技術
                        
      
                        

      
                        
                        
      SiC表面的氫plasma清洗機處理技術:
? ? ? ?SiC材料是第三代半導體材料，具有高臨界突破電場、高熱導率、高載流子飽和漂移速度，在高壓、高溫高頻、輻射半導體設備方面，可實現硅材料不能實現高功率低損耗性能，是高端半導體設備的前沿方向。
然而，傳統濕法處理后的SiC表面存在C雜質殘留、易氧化等缺點，使得優良的歐姆接觸和低界面MOS結構不容易在SiC上形成，嚴重影響了功率設備的性能。
? ? ? ?plasma清洗機增強金屬有機物，化學氣相沉積系統能在低溫下產生低能離子、高電離、高濃度、高活化、高純氫等離子體，從而在低溫下去除C或OH-等待雜質離開成為可能。
? ? ? ?由濕法清洗后和等離子體處理后的RHEED圖像，我們發現濕法處理SiC表面呈點伏狀，這表明經濕法處理的SiC表面不平整，有局部的突出。等離子體處理后的RHEED圖像呈條紋狀，表明表面非常光滑。
? ? ? ?經傳統濕法處理的SiC表面存在的主要污染物為碳和氧。這些污染物在低溫條件下就可以與H原子發生反應，以CH、和H2O的形式從表面去除掉。經過等離子體處理后表面的氧的含量比傳統濕法清洗的表面氧含量顯著降低。
我們知道表面存在雜質C是制造半導體MOS器件或者歐姆接觸的一大障礙，如果經等離子體處理后Cls的高能尾巴消失，即CC-H污染消失，就會更容易制備高性能的歐姆接觸和MOS器件。
? ? ? ?經等離子體處理后CIs的高能端尾巴消失，同時我們發現未經plasma清洗機處理的SiC表面Cls峰相對與等離子體后的Cls遷移了0.4ev，這是由于表面存在C/C-H化合物造成的。
? ? ? ?未經過plasma清洗機處理的Si-C/Si-O譜峰強度之比(面積之比)為0.87。經過處理的Si-C/Si-O的XPS譜峰強度之比(面積之比)為0.21,與沒有經plasma清洗機處理的相比下降了75%。經過濕法處理的表面Si-O的含量明顯高于經過等離子體處理的表面。
高能電子衍射(RHEED分析發現等離子處理后的SiC表面比傳統濕法處理的SiC表面更加平整，而且處理后表面出現了(1x1)結構。 ? ? ? plasma清洗機氫處理可以有效除去表面的碳污染，暴露在空氣中30分鐘后，發現經plasma清洗機處理的SiC表面氧的含量能明顯低于傳統濕法清洗的表面，經等離子處理的表面抗氧化能力顯著提高，這就為制造歐姆接觸和低界面態的MOS器件打下了良好的基礎。

      
                        
                        
                        
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